二手 VEECO / EMCORE D9000 #293765079 待售

VEECO/EMCORE D9000是为电子、半导体和光学行业的研发沉积过程设计的强大反应堆。VEECO D9000反应堆能够在尽可能高的加工温度下处理多种材料，具有出色的吞吐量、均匀性和精确度。它是业界最先进的干蚀刻和沉积处理系统之一,以单一封装提供卓越的灵活性和性能。反应堆的设计具有高达800 °C的高温处理能力，以及高达10 Torr的0.1 mBar令人印象深刻的压力范围。EMCORE D9000的温度和压力控制允许改进对沉积和蚀刻过程的控制,从而提高精度和可重复性。D9000具有各向异性蚀刻能力，使用Ar/O2共溅射技术。腔室也有广泛的工艺气体选择，包括NF3、SF6、三甲基铝等特殊气体。VEECO/EMCORE D9000处理能力大，具有x、y、z扫描仪、等离子源延迟、离子源能量和速率控制、RF功率控制、原位石英反射率等广泛的可选特性，适合广泛的应用。该系统具有先进的沉积和蚀刻特性，可实现更高的加工温度和更高的薄膜沉积均匀性。VEECO D9000还具有高性能温度监测以及先进的计量和成像功能,以便能够快速分析、比较和验证处理运行的结果。反应堆还包括用于扩展控制、监测和实时数据分析的CIMS（工艺仪表管理系统）和SYS-Control（灵活的工艺自动化系统）。这样可以实现更高效、更明智的日常操作,从而实现更高效、更准确的流程优化。EMCORE D9000是一种先进的反应堆，非常适合用于半导体、电子和光学工业的研发沉积过程。它的高温处理、广泛的可选功能、先进的控制系统和监控使其成为功能强大且用途广泛的工具。它旨在帮助确保沉积和蚀刻过程的最高精度和可重复性。