二手 VEECO / EMCORE D9000 #9196536 待售

VEECO/EMCORE D9000反应堆是一种最先进的电磁（EM）现场反应堆，设计用于制造、测试和研究应用。反应堆独特的设计为支持电子等离子体加速度和微波击穿提供了最佳磁性环境，使反应堆可用于多种应用。其等离子体生产能力对于制造复合薄膜以及用于半导体加工的外延晶片至关重要。反应堆提供超高射频（RF）功率能力，使其能够在各种工艺温度和压力下以更高的效率运行。利用近场效应使其能够在典型的运行时间内获得较高的产品产量。反应堆还包括精确的热和流体控制系统，使其与现有真空技术高度兼容。此外，它的可调磁场允许灵活控制等离子体特性，如组成和温度。VEECO D9000反应堆也有可选的自动对准和诊断监测系统。这些能够在操作人员参与程度最低的情况下进行精确的设备诊断。此外，反应堆在系统一级包括预编程和用户定义的反应堆序列，允许针对特定工艺需求进行最大限度的优化。EMCORE D9000反应堆的集成软件创造了一个效率更高的环境，便于快速测量和校正。它允许动态单元控制参数，可以远程监控机器性能和过程变量，如腔室压力、射频发电机输出和输入功率水平。D9000反应堆还提供先进的能源管理功能，如自动关闭序列和发电机输出的计时器控制。创新的快速致动快门、自动压力控制和自动射频调谐的集成确保了反应堆的精确控制，使得过程性能可重复，过程结果可精确重复。这些创新使得VEECO/EMCORE D9000反应堆成为一个高度可靠和适应性强的单元，非常适合制造、研究和测试应用。