二手 VEECO / EMCORE E300 GaN #9245409 待售

VEECO/EMCORE E300 GaN是一种高性能、紧凑的反应器，设计用于氮化的沉积和蚀刻（GaN）和其他需要高沉积速率和均匀性的材料。该E300非常适合生产高质量的薄膜涂层和纳米级结构。该E300利用以300 W的最大功率运行的低压感应耦合等离子体（ICP）源。这些源旨在实现更均匀和一致的过程温度和离子能量,从而提供更高的沉积速率和改进的均匀性。与需要大量气体和长时间循环的次大气沉积系统相比，低压ICP源具有关键优势。该E300能够精确控制基板温度，为各种应用提供精确和可预测的温度控制。腔室底部设有加热级，允许在环境至500 °C的范围内进行温度控制。这允许敏感材料的低温生长，如GaN和其他III-氮化物。该设备还配备了静电能源，可以用来使基板受制于一系列工艺条件，改变入射在基板上的离子能量和所得膜层的表面性质。这允许独特的蚀刻和沉积过程，如能量选择性沉积（ESD），并在处理纳米翅目时提供更大的灵活性。该E300具有最先进的控制系统,具有实时数据监控功能,即使在高温应用中也能提供精确可靠的过程控制。集成软件允许全自动操作，并且可以配置为满足用户的特定需求。总体而言，VEECO E300 GaN是专门为GaN处理而设计的紧凑、高性能单元。其精确控制基板温度的能力，以及其精密控制系统的集成范围，使其成为复杂沉积和蚀刻过程的理想机器，如优质GaN薄膜涂层和纳米级结构的生长。