二手 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293749112 待售

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla是一种金属-有机气相外延（MOVPE）反应器系统，设计用于半导体工业中的氮化​​氙（GaN）晶体生长。为实现最大的生产率和可扩展性而进行了优化，使其增长率达到传统MOVPE GaN反应堆的3倍。VEECO E300 GaNzilla的独特设计包括一个创新的高效排气捕获系统，以改进过程控制和减少颗粒污染物，使GaN晶体能够以最高纯度和最高质量生长。它还采用低温低压工艺，降低热应力，提高晶体质量。EMCORE E300 GaNzilla采用高压谐振频率增强型（RFE）气体喷射技术,无需手动控制气体,从而降低了复杂性,提高了稳定性和准确性,减少了系统中的活动部件。E300 GaNzilla配备了先进的VEECO腔室技术，具有嵌入式碳化硅散热器和可调节反应堆位置控制器。这允许精确控制反应堆腔内的温度、压力、均匀性和分布，从而为高质量的GaN外延优化了一个过程。VEECO/EMCORE E300 GaNzilla具有内置的安全和保护功能,可提供安全、高度可靠的增长过程,包括气体和电源监控、主动超压保护、离子网电流控制和气流控制。VEECO E300 GaNzilla将卓越的成本效率和可扩展性与强大的设计和控制功能相结合。其独特的工艺能力和先进的EMCORE腔室技术符合最高标准，使其成为种植GaN晶体最具挑战性应用的理想选择。