二手 VEECO / EMCORE E300 GaNzilla #293751365 待售

VEECO/EMCORE E300 GaNzilla是一种等离子增强化学气相沉积（PECVD）反应器。它是一种高性能的沉积工具，用于沉积和生长均匀的氮化氙（GaN）和其他材料的涂层。GaNzilla设有大型反应室，能够处理大型底物，并有500 °C至1300 °C的製程窗。它有一个快速的负载锁定系统，快速的斜坡上升和快速的过程周期。反应堆使用射频（RF）等离子体源，提供高密度等离子体，对物种的控制得到改善，涂层高度均匀。GaNzilla专为高效率的GaN沉积而设计,允许使用设置最少的现成系统。它也有一个集成的基板加热系统与运动耦合，以确保高基板均匀性。用户可以轻松控制过程的参数，如等离子体功率、气流和基板温度，以确保优化的最终产品。反应堆还具有可变腔室几何形状，使过程适应特定样品的需要。VEECO E300 GaNzilla包括一个灵活的PC/PLC控制模块，它允许用户根据自己的需要定制反应堆。它还包括多个安全功能，以确保反应堆正常运行，不会发生事故。总体而言，EMCORE E300 GaNzilla是一种高性能反应器，可用于高效可靠的GaN膜沉积，周期时间比其他系统低。由于其先进的特性，GaNzilla可以用于为许多不同的应用生产高质量的薄膜，从半导体器件到微机电系统。