二手 VEECO / EMCORE E300 #293652202 待售
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VEECO/EMCORE E300是一种高度先进的化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于生产薄膜、异质结构或薄膜器件。VEECO E300是一个单晶片、多站CVD反应堆，能够同时沉积III/V和Si基材料。EMCORE E 300独特的设计既实现了高吞吐量,又实现了卓越的均匀性,从而实现了高质量的薄膜材料生产。E300由刚性不锈钢制成，既耐用又易于维护。VEECO/EMCORE E300由四个单独包含的加工站组成，每个站容纳一个单晶圆。除了不同的压力外，每个加工站还能够感应到700摄氏度的温度，以优化薄膜沉积工艺。利用先进的盒式磁带到盒式磁带系统将晶片从一个站传输到另一个站，而VEECO E 300的优越压力能力使得能够利用各种CVD气体，以创造最佳的沉积环境。除了温度和压力调节外，EMCORE E300还配备了多种先进的传感器，设计用于监测四个腔室中每一个的参数，以保持尽可能高的效率。E300的高级功能,例如卓越的基板温度控制,可实现快速均匀的沉积,而不会显着影响热敏感性或降低材料质量。利用热壁CVD工艺进一步提高了沉积速率。此过程允许在单晶片上创建多层材料,此过程通常只需几秒钟即可完成。此外，为了优化沉积物料的质量和均匀性，在层层形成后实施快速冷却工艺。VEECO/EMCORE E300用户友好,提供直观的图形用户界面（GUI）,任何合格的技术人员均可轻松操作。GUI的直观设计能够控制任何工艺参数以及生产高质量薄膜材料所需的任何调整。VEECO E300是一种先进的CVD反应器，能够在多种材料中实现卓越的薄膜生产。其先进的性能使高质量薄膜材料能够快速均匀沉积，具有更强的热特性和最小的压力损失。其图形用户界面还提供任何合格的技术人员轻松操作。EMCORE E300是任何希望最大限度地提高生产能力的研究或工业设施的绝佳选择。
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