二手 VEECO / EMCORE E300 #293744722 待售
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VEECO/EMCORE E300是一种紧凑、独立的电子束蒸发反应器，用于反应性蒸发、远程沉积和溅射过程。该反应堆专为半导体和分析工业而设计。VEECO E300是一种高性能反应堆，具有高薄膜生产能力。它建立在一个独特的，全场磁控管溅射设计，确保均匀的材料沉积。该反应堆还采用VEECO专利的QPA Zone™技术，对温度、氦气压力和功率等工艺条件进行精确控制。这使操作员更容易监视和分析您的沉积过程。EMCORE E300具有可容纳各种工件的大腔室。其设计最大限度地利用了表面积，创造了更好的薄膜沉积均匀性。E300宽敞的工作区还允许用户快速改变气体，实现进程之间的快速过渡。此外,VEECO/EMCORE E300还具有用户友好的设备,可让操作员轻松监控、调整和定制流程。该系统还可以与VEECO/EMCORE IonBeam™ Unit、VEECO MassSpec™ Machine和EMCORE Monitor Tool等其他EMCORE系统集成。这为精确沉积和分析创建了一整套工具。对于其蒸发操作，VEECO E300可用于反应薄膜生长过程，如二氧化钛、氧化氙和氧化硼沉积。位于反应器内部的蒸发源可以循环开启和关闭，以适应不同类型的薄膜沉积过程。反应堆还采用一键交钥匙工艺，提供快速周转和最优工艺参数。EMCORE E300还采用了真空互锁和低噪声排放等创新的安全功能。E300反应堆是一种功能强大、用户友好的工具，能够为广泛的应用提供精确的溅射和沉积过程。其高效的材料覆盖范围和精确的控制，使其成为半导体和分析行业的理想选择。
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