二手 VEECO / EMCORE E300 #9265825 待售
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VEECO/EMCORE E300反应堆是一种半导体过程增强沉积系统，旨在适应沉积技术的最新进展。它是一个模块化工具平台，具有完全集成的模块化硬件，支持包括物理气相沉积（PVD）、电子辅助PVD（e-PVD）、等离子体增强原子层沉积（PEALD）和化学气相沉积（CVD）在内的广泛过程。模块化硬件包括大量生产的模块化腔室、大量选择的内部离子束源以及广泛的高能、高电流的工艺源。它还包括用于可靠、高性能过程控制的先进气体和过程控制系统。VEECO E300反应堆支持热沉积和电子束驱动沉积，以及现场监测和控制线路末端薄膜。它的体系结构允许同样快速的流程启动时间以及准确的现场流程控制。这对于制造高端设备至关重要,在高端设备中,精确控制电子有源薄膜会对设备性能产生重大影响。此外，EMCORE E300反应堆具有先进的等离子体控制能力，包括向底物输送低能氧气或氮气等离子体的能力。系统还可以执行步进/闪光光刻和升空，并支持尺寸不超过200毫米的基板和晶片。此外，E300反应堆还配备了一整套光学观察功能，包括高分辨率、高清环境显微镜。这为用户提供了薄膜成形的实时成像,从而改进了薄膜特性和/或过程监控。VEECO/EMCORE E300提供了极佳的热均匀性和与几乎所有工艺气体的兼容性,非常适合生产高质量、高纵横比的薄膜。所有这些因素相结合，使VEECO E300先进薄膜工艺集成的首要解决方桉之一。
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