二手 VEECO / EMCORE E300 #9265827 待售
网址复制成功！
单击可缩放
VEECO/EMCORE E300是一种高性能的外延反应器，用于生产各种半导体材料和器件。VEECO E300是一种高效的沉积设备，可用于广泛的过程。它具有经过优化的高级设计,可实现高吞吐量和低拥有成本。EMCORE E300是单晶片、高温、低压化学气相沉积反应器。其中央腔室为圆柱形真空室，底部装有高温加热元件。E300可以达到1000°C的温度，并且在这个室内的压力可以达到10 Torr。它是为了广泛的成分的沉积而设计的，包括硅、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的、的。中央腔室设有多个源端口，允许腔室内气体层流，增强沉积在晶圆表面的层的均匀性和质量。VEECO/EMCORE E300还包括一个高性能的多通道气体输送系统，该系统允许多个气体同时被泵入室内，同时具有良好的工艺控制。VEECO E300还能够容纳多个晶片，其可调晶片到源距离可达4英寸。EMCORE E300还配备了直观的控制台和综合控制单元,可提供卓越的控制精度。这使用户能够精确调整加工反应温度和气体的溷合物，以产生优异的器件性能。此外,E300还配备了一个自动流量控制机,该机使用快速响应PID控制器,可在需要时不断监控每个参数并调整气体的流量。总体而言，VEECO/EMCORE E300是一个卓越的外延反应堆，提供卓越的性能和可靠性。它旨在满足最先进的半导体生产应用的需求，以较低的拥有成本提供成功的沉积工艺。
还没有评论