二手 VEECO / EMCORE E300 #9265829 待售
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VEECO/EMCORE E300是为化学气相沉积应用和其他类型的外延沉积而设计的反应器。该反应堆能够从各种化合物中产生广泛的高纯度材料。VEECO E300反应器是一种惰性水平管式反应器，由不锈钢和其他能够承受高温的材料制成。反应堆内部由外部空气密封，防止污染。它有一个加热的感受器，或柚子，材料沉积。感受器可以加热到高温。它还配备了独特的真空源。可将步进扫描质谱仪连接到该反应堆，用于监测反应过程。EMCORE E300在半导体的制造中有广泛的用途，如砷化的、磷化的、III-V化合物、碳化硅和类似材料。它具有低污染设计，使这些材料能够以纯形式生产。E300的电容耦合等离子体（或CCM）方法允许精确控制沉积过程，其灵活的几何构型允许厚膜沉积。VEECO/EMCORE E300提供了较高的加工率,从而提高了生产率。其设计允许优化材料层生长、表面钝化和蚀刻等过程。它还可以消除粒子侵蚀效应。反应堆包括高效冷却，以尽量减少产品的过热和热破坏。它配有诊断监测系统，可有效控制沉积过程。反应堆还包括氮输入，这有助于确保沉积过程中的清洁、惰性环境。VEECO E 300对材料沉积所涉及的参数和工艺的精确控制使其非常适合于高纯度化合物的制造。它操作简单，精度高，也适合研究。沉积过程中使用的所有参数都可以实时调整和监控，从而实现优化的质量控制。
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