二手 VEECO / EMCORE E400 Gold As/P #9155030 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9155030
MOCVD systems
MO Source line : ( Normal x 7 / Dopant x 2 )
CBr4, DEZn,TESb,TMIn-1,TMIn-2, TMAl,TMGa-1,TMGa-2,IBuGa
Hydride source line: AsH3 x 2 ,PH3 x 2 ,Dopant A x 1,Dopant B x 2,Dopant C x 1
Epison III x 2 for TMIn
Currently de-installed
2000-2001 vintages.
VEECO E400 GoldAs/P是半导体工程中用于薄膜加工和沉积的先进反应器。这种As/P反应堆旨在为各种材料（包括有机和无机薄膜）提供高性能和经济高效的处理。As/P反应堆为四面石英管，设有两级可编程平台。石英管的四面各由感应线圈加热，允许精确的温度控制和均匀性。平台第一级由三个主要部件组成，分别是底部石英屏蔽、中间石英屏蔽和石英衬里。底部的石英屏蔽层保护腔室，使其免受感应线圈产生的热量的影响，而中间的石英屏蔽层则保护衬里免受燃气的影响。石英衬里是平台的第二级，由一组石墨炉电极组成，每个电极通过一组电线与电源相连。石墨炉电极能够以更均匀的方式更有效地沉积薄膜。E400 GoldAs/P还配备了一个自动脉冲发生器，可以编程为向感应线圈提供各种串联脉冲序列，用于薄膜的沉积。此功能消除了电源的任何手动设置,进一步提高了机器的效率和准确性。此外，E400 Gold As/P配备了内置摄像头系统，用于观察和监测沉积过程，并为任何需要的调整提供实时反馈。E400 Gold As/P是一款功能强大、用途广泛的系统，旨在满足各行业的需求，包括半导体、微电子、化学、光学器件制造。广泛应用于研发实验室，以及生产设施，因其生产优质薄膜的能力。该机器的可编程平台进一步使其能够用于广泛的应用，包括氧化物和氮化物沉积、金属膜沉积、LED制造、MEMS制造以及许多其他工艺。E400 Gold As/P提高了效率、准确性和质量,使其成为当今工业应用的理想选择。
还没有评论