二手 VEECO / EMCORE E400 #293641830 待售

VEECO/EMCORE E400是一种紧凑的低能等离子体反应器，设计用于广泛的薄膜沉积应用。VEECO E400是光电子学和纳米技术研究及制造领域的理想的薄膜沉积平台。EMCORE E400独特的几何形状包括一个圆柱形的目标腔室，其中嵌入了一个单一的低压低能点等离子体源。反应堆是专门为快速、低温处理各种材料而设计的，从简单的氧化物到复杂的有机分子。E400可以处理高达几毫吨的压力，并处理高达每分钟7标准立方厘米（sccm）的气体。VEECO/EMCORE E400具有多项先进技术,如主动源/基板匹配（AS/SM）和数据记录/监视（D/M）,可对沉积过程进行精确控制和分析。AS/SM确保基板均匀加热，而D/M提供过程参数的瞬时诊断，从而实现质量控制和过程开发。VEECO E400还可以集成到定制的自动沉积系统（ADS）中,从而允许在各种基板上自动、高通量地沉积薄膜。EMCORE E400反应堆非常灵活，非常适合小批量生产和大规模生产运行。它能够只需单击几下鼠标即可进行调整，从而便于快速处理任何沉积基板。E400可以配置各种组分，以满足任何特定应用的确切沉积要求，如高温底物、低压气体和挥发性化合物。简而言之，VEECO/EMCORE E400是一种先进、灵活和紧凑的等离子体反应器，设计用于光电子学和纳米技术研究与制造中的各种薄膜沉积需求。其嵌入圆柱形目标腔室的低压和低能点等离子体源提供精确的过程控制，而其配置有多种组件的能力则可实现定制沉积要求。VEECO E400是小批量和大批量生产运行的理想选择。