二手 VEECO / EMCORE E400 #293641832 待售

VEECO/EMCORE E400反应器（又称化学气相沉积设备）是一种高温、超高真空水平沉积系统，能够产生高质量的高温等应用的多晶和非晶薄膜。它是一种多功能装置，具有反应性离子蚀刻工艺，可在介电层中产生蚀刻图样，以及用于非晶层的快速热退火工艺。VEECO E400具有一个4英寸的晶片卡盘和一个20英寸的铝制腔室以及多轴Kenics的沉积源进料。反应器内部的压力是可调的，满足超高真空沉积过程的要求。反应堆还包括带有机械快门、旋转样品模块和自动溅射机的预沉积选择。此外，EMCORE E400还配备了离子能源，以便在沉积和蚀刻过程之前清洁和激活底物。E400反应器设计用于沉积超级导体和其他高温材料。沉积源能够在高达400°C的温度下工作。VEECO/EMCORE E 400的设计是专为生产沉积温度低的非常薄的材料层而设计的，以确保最高的工艺重复性。离子能源每秒可提供三次离子轰炸，最大电流为1-10mA。VEECO E400是一种超高真空工艺，具有卓越的工艺控制性能。具有沉积多种薄膜材料的能力，从多晶、无定形到超级导体。资产易于操作、可重复性和准确性使其非常适合用于研究和商业应用。EMCORE E400可以处理各种基材尺寸和材料，包括玻璃和石英，用于制图和高温光学薄膜的沉积。通过添加射频选项以及自动的预清洗和后清洗模块,可以进一步定制模型。