二手 VEECO / EMCORE E400 #9017783 待售

VEECO/EMCORE E400是一种反应堆，设计用于半导体加工等行业。它是一种高分辨率电子束（e-bame）设备，能量范围高达400 kV，电流范围高达20 mA。该系统配备了全方位的应用特异性处理，其精确度为扩散、植入、溅射和涂层应用需求提供了优化的解决方桉。VEECO E400可用于各种角色设置,包括用于生产和研发的配置。该单元的核心部件包括200毫米或300毫米的工艺室、真空机、大功率电子束柱、氮化​​的氙（GaN）电子枪、场发射阴极和束电流测量工具。资产高度可配置,支持多种应用组合,如掺杂剂和重新沉积技术,以及超高分辨率成像。EMCORE E400在电子束处理方面提供了无与伦比的精确度,其光源亮度比竞争系统高四倍,稳定性大大提高,因为它的自校准电子束能够准确快速地提供单步和多步过程所需的能量和强度。该特征与模型的主动和无源光束电流控制相结合，可产生精确的光束轮廓和出色的覆盖精度。该设备还具有先进的高对比度成像功能,可用于多种SEM/STEM成像模式。该系统也非常可靠，硬件和软件设计用于在性能有差异时对操作员进行自我监控和警报。安全功能包括可编程的电源阈值和冗余冷却单元。其他用户友好的功能包括电源控制菜单和远程控制访问,允许人员远程控制和监视机器。总体而言，E400是一个高精度的电子束反应器，提供精确的过程控制和广泛的应用范围。其无与伦比的易用性和卓越的准确性使用户能够产生高质量的流程结果,这些结果可以根据客户的需求进行定制。