二手 VEECO / EMCORE E400 #9029117 待售

VEECO / EMCORE E400
製造商
VEECO / EMCORE
模型
E400
ID: 9029117
MOCVD System Configured for GaN process E400 As/P GaAs: 42" x 2" (7) MO Source lines Sources: TMIn-1, TMAl-1, TMAl-2, TMGa-1, TMGa-2, DETe, Cp2Mg Hydride source line: AsH3, PH3, Dopant A Epison III for TMIn-1.
VEECO/EMCORE E400反应堆是一种先进的化学加工装置,用于包括掺杂、蚀刻和沉积材料等多种过程。VEECO E400可用于各种工艺,从基于半导体的应用,如BOSCH、CVD和离子植入,到材料的沉积,如金属和氧化物。EMCORE E400是一个快速高效的反应堆,吞吐量高,周转时间大,工艺质量一流。E400具有专利的多室设计,允许以极高的效率和低热预算完成最高风险的过程。这种反应堆设计也容易向上或向下缩放,使得它可以用于广泛的过程。VEECO/EMCORE E400有一个板载热级石英盖,支持等离子体和热处理。它还配备了先进的真空技术,能够精确控制工艺室。此外,VEECO E400反应堆配有可调高温能源,可控制材料沉积。一种先进的气体歧管设备,可以方便地进行快速改变,并提供准确和受控的气体流动。该反应堆装有可靠、自动化的材料输送系统,使用简单,效率高。它还具有一个可靠的温度控制单元,可以精确调整加工条件,而不会造成昂贵的排放或停机。EMCORE E400配备了一个直观的人机交互接口,可以方便地操作设备。E400配备了高级数据记录和分析软件,可帮助用户评估其处理结果并检测潜在的处理问题。这一特性有助于使VEECO/EMCORE E400一个可靠和一致的反应堆,能够产生一致和可重复的高质量结果。一般而言,VEECO E400是一种先进有效的反应堆,非常适合基于半导体的应用。它是一个集高效、精确控制和可靠性能于一体的多合一单元,具有强大可靠的用户友好界面。EMCORE E400是任何希望优化其生产和加工结果的化学加工机的宝贵组成部分。
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