二手 VEECO / EMCORE E400 #9302576 待售

VEECO/EMCORE E400反应堆是一种通用反应堆工具，设计用于各种薄膜生长应用。这种反应堆是一种垂直导向的系统，具有卓越的性能水平，能够支持包括成型、蚀刻、材料沉积和退火在内的多种应用。其独特的设计特点是上部由三个热区组成-高温区（通常为250-600°C）、中温区（通常为100-400°C）和低温区（通常为50-300 °C）。这些区域相互独立，提供精确的温度控制，并允许在进行较高温度过程的同时发生低温过程。反应堆具有独特的对称法兰型载荷锁定设计，允许不同的基板尺寸和源与基板之间的相对运动。这增加了工具的灵活性，允许在非方形基板上沉积薄膜，如卫星或其他圆柱形基板。VEECO E400的双托架设计允许更大程度的流程灵活性,因为可以同时执行更多的流程,而不会牺牲性能或生产率。EMCORE E400还具有广泛的工艺室功能，包括低压/高压高功率、低压/高压闪光灯、直流（直流电）和射频（射频）溅射沉积、电离物理气相沉积（iPVD）、金属有机气相沉积（MOCVD）其新的热再包装功能允许在各种过程中更快地沉积材料。此外，该反应器的快速气体压力变化率大于1000 Torr/秒，提供了高质量的工艺结果。E400反应堆是一种高端、功能强大的工具,非常适合开发需要大面积基板、高精度薄膜沉积、提高材料吞吐量或高功率的下一代产品。其先进的热管理和统一性、多区域灵活性、高吞吐量、低温兼容性和高功率功能使其成为许多性能或效率优先的应用程序的有吸引力的解决方桉。