二手 VEECO / EMCORE E400 #9395073 待售
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VEECO/EMCORE E400 Reactor是一种先进的半导体制造工具，用于创建各种不同的光子集成电路。它通常用于半导体光放大器、马赫-赞德干涉仪、DFB激光器等复杂光子集成电路的设计和生产。VEECO E400 Reactor能够生产多达300毫米晶圆，使其能够用于生产VCSEL和HD-LED等小规模光子器件。EMCORE E400 Reactor利用多区多级工艺，涉及超高真空、光刻、嵌入式沉积和反应性离子蚀刻系统。这允许精确控制薄膜层的沉积和结构的蚀刻。E400反应堆能够产生高达0.25 μ m的精细特征和高达10：1的特征长宽比。VEECO/EMCORE E400反应堆利用各种来源和探测器，确保从金属到电介质，生产中使用的所有材料的沉积最准确。该系统包含四个产生宽带紫外线曝光的柱式石英灯，而19个紫外线激光二极管用于提供高精度图样的线扫描成像。激光二极管还允许多层同时曝光，允许多光子器件的高速率工业生产。VEECO E400 Reactor还包含一个用于薄膜材料CVD型沉积的气体注入系统。这样可以精确控制沉积过程，并确保达到一致的薄膜性能。EMCORE E400 Reactor还包含一个高速涡轮机，用于快速蚀刻基板表面以创建高长宽比特征。总体而言，E400反应堆是一种先进的工具，能够精密生产各种光子集成电路。它非常精确，拥有专有的来源和探测器，可以精确沉积薄膜，而高速涡轮机提供材料的快速蚀刻。这种最先进的工具能够以高精度和高速度的工业规模生产各种光子集成电路。
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