二手 VEECO / EMCORE E450 #9255825 待售

VEECO/EMCORE E450反应堆是一种高功率、紧凑、多合一的沉积设备，能够沉积需要高温或高能处理的材料薄膜。它具有完全可编程、高性能和紧凑的反应器，适用于MOCS、IBAD、RF/DC磁控管溅射和AES/PECVD等多种沉积技术。VEECO E450还与液氮（LN2）、氢/氦溷合物、流动氢/氦溷合物、氢/氦蒸发器等各种气源兼容。EMCORE E450专为一致性和高速率处理而设计。它具有高性能的直接阴极离子源（DCIS），能够输送高达20 keV的离子能。它还有一个功率高达25千瓦的双频磁控管溅射源。集成的高性能质量流控制器和主从运动控制器可实现精确的过程控制,并具有生产均匀薄膜所需的功率和精度。E450的紧凑性使得它非常适合在密闭空间中的各种过程。它的占地面积小，不到下一个系统尺寸的一半，总负荷重量仅为570磅，还设有一个高级安全单元，监控温度、压力和其他机器变量，如果这些变量中有一个超过安全极限，将关闭工具。VEECO/EMCORE E450非常适合研发、原型制作和高速率生产。它提供精确的过程控制，其高速率沉积能力使其成为大容量应用的理想选择。VEECO E450具有许多功能,可实现一系列高性能薄膜工艺。它可以涵盖各种各样的应用，如显示器、光学、半导体和MEMS设备。它集成的电源和控制系统使得操作方便，可以快速设置。