二手 VEECO / EMCORE E450 #9255826 待售

VEECO/EMCORE E450是一种用于晶圆加工的水平热壁RIE（反应性离子蚀刻）反应器。它能够处理4英寸、6英寸和8英寸的晶圆。VEECO E450有一个自动晶片处理设备，可以快速装卸晶片，并将晶片精确地放置在反应堆室内。腔室的最低温度为25°C，允许在蚀刻过程中进行精确的温度控制。EMCORE E450具有金属管结构,设计用于双型外壳,具有惰性（非反应性）气体净化环境,允许蚀刻各种材料,且污染风险最小。该反应堆设计为以多种气体运行，包括O2、Ar、SF6、Cl2、BCl3和组合气体。低颗粒污染允许生产高产量和产品质量的IC微芯片。该系统设有下游气体输送装置，确保稳定输送高纯度反应性气体和加工气体。基板配置允许各种工艺参数,如压力、流量、温度、气体溷合和功率,以便针对所需的应用优化蚀刻工艺。E450还拥有VUV（真空超紫罗兰）和RF（射频）电源,可精确控制工艺条件,保证晶片与晶片的良好均匀性。VEECO/EMCORE E450是一种可靠而坚固的反应堆机器，设计用于蚀刻各种底物，包括硅、硅酸盐和聚合物。它提供了符合高性能标准的可靠结果,确保了清洁和精确的蚀刻。反应堆是一个方便用户的工具，为快速设置提供了一个简单的用户界面，并为工艺优化提供了可编程参数。全面，VEECO E450是一个可靠而强大的资产，使其成为生产半导体器件制造的绝佳选择。