二手 VEECO / EMCORE E450 #9283634 待售

VEECO/EMCORE E450反应堆是一种专门的工具，用于将单层和多层薄膜沉积在基板上，以便在电子和光电工业中进行各种应用。它代表了当今最先进的市售低压化学气相沉积（LPCVD）设备，使其成为先进薄膜加工和材料工程的强大工具。VEECO E450反应堆装有一个自动Quartz船组件，最多可装载12个尺寸可达4 "x 6"的单独基板，或一个4 "x 12"基板，每个基板位置调整以达到最佳厚度和沉积均匀性。电加热元件可实现精确的温度控制,另外还有四个加热区可用于高级应用程序特定的处理。反应堆能够在不到40秒的转换时间内批量运行或连续运行，还允许用户根据需要定制其过程，而无需更改过程参数。反应堆由一个专门的软件程序控制，能够同时存储多达五个不同的配置文件。准确的沉积速率、温度和压力范围都可以进行调整，以达到预期的效果，有多达四个沉积源可用于最终操纵沉积薄膜的性能。该软件还允许实时监测沉积过程，并收集各种过程数据以供审查。EMCORE E450反应堆还设计了多种安全特性，包括过温和过压检测系统，以及自动清除功能，以确保在运行过程中对反应性气体的妥善处理。真空装置还包括一个油雾滤清器，以额外保护免受污染，而机器是设计用于通过一个简单的清洁程序最小的维护。该反应堆也符合RoHS标准，符合最新的国际安全标准。简而言之，E450反应堆是一种功能强大且先进的薄膜沉积工具，可提供卓越的温度和压力控制，以及各种特定于应用程序的处理选项，以使用户能够达到预期的效果。反应堆的软件驱动控制工具和安全特性使其成为任何寻求可靠和精确薄膜沉积的电子或光学制造商的一个有吸引力的选择。