二手 VEECO / EMCORE E450 #9394988 待售
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ID: 9394988
优质的: 2008
System
Process: GaAs
Product: GaAs LED (Red and yellow)
Config: TMAl, TMGa, TMIn, AsH3, PH3, Mg, Si
Spare parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 1092679 / 50x2" Pockets wafer carrier
(1) / 1090650 / 13x4" Pockets wafer carrier
(1) / 1090581 / 21x3" Pockets wafer carrier
(5) / 1091270-1016-D-B / MFCs 30 SLM
(3) / - / PLC Control circuit boards
(4) / - / Filters
(1) / 1003794 / Heater base E400
(1) / 1016491 / Baffle EII
(1) / 1003780 / E400/E300 Spindle
(1) / 1016306 / Bottom heat shield EII
(1) / 1016307 / Top heat shield, EII
(1) / 1029697 / E450 Filament, outer
(1) / 1005630 / E400 Filament, middle
(1) / 9406E01 / ISOI00 Turbo pump
(1) / 1005552 / -
(1) / 1022551-1003 / E450 Screen diffusion, (2) Port photo ETC
(1) / 1022549 / Ring reactant level
(4) / 1003641 / Outer ring segment 9400 Flow flanges
(1) / 1002115 / VlV Gate pneu, 4"
(1) / 1016457 / E11 Susceptor moly
(3) / 1084355 / MKS 1000T CT27 Baratron, DNET
(4) / 1004766 / Feed through linear motions, 2.75 modification
(1) / 1003932 / Graphite bushing assembly
(4) / 1094048 / Bracket mounting holy shutter
(7) / 9472E01 / Control SSP, 15 Amp, 200-240 V
(8) / 1016309 / 9400 Heater support
(1) / 1013965 / k400 Heater support
(6) / 1005612 / Electro particle shield
(1) / 6403E02 / Fuse sub mini, 3A
(2) / 1003680 / MKS 1000 Torr
(1) / 1026320 / Drive motor, 1/3 HP, 180V, CDP3316 Baldor
(4) / 1004103 / E400 Baffle support
(2) / 1016308 / Electrode connector block outer heaters
(4) / 1003039 / Gaskets silver, 2.75 inch
(2) / 10446 / Gasket Cu Gr, 2.75 x 20.0 Belo/Bon
(4) / 1015365 / VCR Filter, (20) Microns
(24) / 1017391 / Screws
(24) / 6030E01 / Screws
(16) / 6099E03 / -
(16) / 1017391 / Screws
(6) / 6030E04 / Screws
(1) / 1084220-1002 / Screw
(16) / 1084220-1003 / Screws
(6) / 1017392 / Screws
(3) / 6045E01 / Screws
(1) / 6012E02 / Screw
(8) / 6094E03 / Washer locks
(1) / 1022820 / O-Ring, 30"
(1) / 1025867 / O-Ring
(1) / 1084972 / E450 Reactor insert holy
(1) / 10447 / Gasket
(1) / 1002703 / Ball valve, 4"
2008 vintage.
VEECO/EMCORE E450 Reactor是为薄膜和半导体材料的沉积过程而设计的表面安装设备。它以3.3 kW电子束枪和5.5 kW射频源为标准配置。VEECO E450提供了广泛的操作参数，包括功率范围在0.2至800 W之间，底物温度范围在20至400摄氏度，腔室压力在10-6至10-7 mbar。射频等离子体源创建了对薄膜沉积过程的控制，并且具有最高的可用于薄膜生长的频率。它提供超高真空质量，超过国际标准。此外,EMCORE E450最近采用了一种新的PC控制系统,可提高操作效率并降低维护成本。利用先进和增强的元素，E450可用于各种应用，包括快速热处理、光刻、化学气相沉积、溅射和薄膜沉积。此外，这种反应堆模型非常灵活，因为它可以配置多个腔室，用于各种工艺开发。该系统还具有无限的程序存储能力、真空数据的实时显示、循环排序能力和图形用户界面。VEECO/EMCORE E450 Reactor是一个高效且用户友好的解决方桉,它通过减少对多台不同技术的机器的需求将成本降至最低。其先进的设计和灵活的功能使其成为一系列应用程序的理想选择,并允许快速的周转时间。直观的控件为用户提供了对过程参数的精确控制，使其成为研究和生产的理想工具。随着VEECO E450反应堆的推出，用户可以期待提高生产率和可靠性，同时降低成本和能耗。
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