二手 VEECO / EMCORE K465 #293768283 待售
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ID: 293768283
优质的: 2007
MOCVD System
(2) Heat exchangers
(2) Dry pumps
(4) Boxes
(2) Exhaust exchangers
Filter
Frame
Growth chamber
L Chamber
2007 vintage.
VEECO/EMCORE K465反应器是一个通用的固体源分子束外延（MBE）平台，用于半导体薄膜沉积和材料表征。该设备设计用于研究和开发先进的复合半导体器件，例如光子集成电路和激光二极管。VEECO K465可配置为单一源的标准系统，也可配置为具有两个或更多个积液单元的高级平台，以及质量流量控制器、气体输送单元和排气/净化模块等支持组件。标准版的小腔室尺寸为14英寸乘14英寸，最大压力为1E-7 Torr。腔室组件采用不锈钢和UHV级CF法兰制成，以确保超高真空应用的优异性能。腔室底部有挡板，以容纳分子通量，减少气体对样品的对流。加热元件以陶瓷衬里不锈钢制成的嵌入元件为基础，温度范围为25°C至1000 °C。该腔室是为最大限度地利用可用空间进行样品装载而设计的，并配备了自动化的四位取样装载机和旋转木马机。EMCORE K465平台还设计用于处理不同的反应性气体，并且可以安装VEECO专有气体输送工具，以安全、精确地控制气体和流动。使用双源选项,用户可以选择多个源材料,并对它们进行独立配置以用于共沉积和拆分模式。流程控制系统是为自动化优化和监控而设计的。独特的质量流和分压控制（MPPC）资产提供精确的控制：这确保了工艺速率的稳定性,并消除了频繁校准的需要。该模型还配备了光学和X射线诊断能力，用于测量腔内的光学特性和半导体外延层生长。光学激光设备具有改进的空间分辨率和光谱分析，用于测量ALD（原子层沉积）薄膜厚度和折射率。其他先进技术如拉曼和VUV发射光谱技术可用于分子层沉积的基本研究。氮气回填装置确保系统安全，避免空气和氧气污染。K465反应堆的建造是为了容纳各种不同的底物，包括晶圆、陶瓷板和褶皱容器。MBE工具可靠、高效,为各种复合半导体材料应用提供卓越的性能。
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