二手 VEECO / EMCORE K465 #9152831 待售
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ID: 9152831
晶圆大小: 2"
优质的: 2008
MOCVD System, 2"
Real temp 200 monitoring system
DRT-210 Real time In situ monitoring system
Curvature of Epi wafer
Layer thickness
Refractive index
Wafer pocket temperature
Wafer reflection compensation
Source configuration:
MO Source:
(1) Set TMGa
(2) Sets TEGa
(1) Set TMAl
(1) Set Cp2Mg
(2) Sets TMIn
(1) Set Lauda RE235
(4) Sets Lauda RE215 thermal baths
Currently installed
2008 vintage.
VEECO/EMCORE K465是一种电化学反应器,通常用于生产半导体材料。它由两个部分组成:反应堆主体和源流组件。反应堆主体由金属芯构成,包括了坩埚、热电偶、氧气传感器、石英晶体和法拉第杯。这允许用户保持一致的热环境。源流组件由阴极、阳极、电极和次级发射器组成。VEECO K465反应堆的工作原理是通过阳极将含有所需反应物的进料溶液引入体内,然后加入直流电源。直流电源允许离子从阴极移动到阳极,在增加的压力和温度下形成电解过程。随着施用于坩埚中反应物的能量增加,反应物经过一系列反应步骤,直到得到所需的一组产物。电化学反应由法拉第杯、热电偶和氧气传感器密切监控和控制。法拉第杯跟踪反应堆产生的电子量,确保反应环境得到适当维护。热电偶用于测量反应物的温度,次级发射器用于控制反应应停止的确切时刻。氧气传感器检测反应释放的任何气体,并提醒使用者不安全的情况。EMCORE K465具有多种安全功能,旨在保护用户在反应过程中免受任何异常活动的影响。它有一个自我诊断程序,可以在使用过程中检测或诊断任何故障。反应室配有过热保护器和减压阀,以防止压力的任何突然变化。如果反应堆开始过热或反应结束,电源也会自动关闭。K465是专门为最苛刻的半导体应用而设计的先进反应堆。它允许精确控制反应参数,从而确保最优质的产物。其安全特性为用户提供了可靠、安全的操作。
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