二手 VEECO / EMCORE K465i GaN #9180276 待售

VEECO/EMCORE K465i GaN（氮化氙）反应堆是一种专门的反应堆，旨在使研究人员能够利用化合物的独特和有益特性进行实验。K465i反应堆可有效沉积高质量的III-V氮化物复合材料层，用于各种装置应用。它配备了优化的工艺控制能力，使研究人员能够提高材料沉积产量和沉积速率，同时减少压力，更好地控制工艺。K465i反应堆采用两级或三级构型建造，采用30厘米宽、5厘米高的环状反应室。这使得它可以使用感应耦合等离子体（ICP）或直流磁控管溅射技术来支持广泛的工艺应用。此外，该K465i还配备了高效气体输送系统和反应性气流控制的革命性组合，可实现精确的过程控制。K465i独特的设计为研究人员提供了高质量的材料沉积速率和均匀性以及最小的材料应力。这种反应器由于其优化的层，可以达到20纳米以下的特征尺寸。此外，研究人员能够通过使用其专有的高级工艺控制包来微调工艺配方并保持工艺稳定性。该K465i还提供了前所未有的流程自动化和流程监控级别。板载诊断套件提供了对室内环境的洞察力,而综合软件包允许可重复的过程和自动化的过程控制。这些工具可用于最小化开发完整流程所需的时间。K465i反应堆是唯一一个提供在氮化物III-V材料中发现的广泛研究和应用的市售反应堆。利用先进的控制、自动化监控和优化的气体输送系统，这种先进的反应堆是研发创新氮化物材料半导体器件的理想选择。