二手 VEECO / EMCORE K465i #293585751 待售

製造商
VEECO / EMCORE
模型
K465i
ID: 293585751
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 2010
MOCVD System, 4"-6" Process: GaN 2010 vintage.
VEECO/EMCORE K465i是一种用于高性能生产先进材料的Giga-Parsec™反应堆设备。该系统高效地生产用于各种应用的先进材料,从半导体器件和光学元件到太阳能电池和LED照明。VEECO K465i反应堆建立在一个先进的可扩展平台上,旨在提高性能和可靠性。这种Giga-Parsec™反应堆装置具有先进的结构,具有卓越的控制和数据采集能力。利用加热的石墨敏感器、高精度的4轴运动机和全红外加热线圈,可处理多达30种不同的先进材料。反应堆配有先进的控制工具,对工艺参数进行调整,以确保最佳材料质量。这是通过自动控制感应器温度、石墨气体流量和总压力来实现的,具有很高的精度和可重复性。此外,注气资产可用于最佳蚀刻工艺性能所需的均匀气体流动条件。EMCORE K465i还具有石墨摩擦模型(GFS),该模型旨在控制和限制石墨对石墨的磨损。这确保了产品寿命长和可重复生产的先进材料。K465i反应堆的设计旨在通过将高性能和可靠运行与免维护运行和易用性相结合,为用户提供卓越的生产工艺体验。这种先进的反应堆设计具有先进的安全特性,确保即使在危险环境中也能运行。此外,这一设备被设计为使用标准的无氟氯化碳制冷剂,减少了其全球碳足迹。总体而言,VEECO/EMCORE K465i反应堆是一个强大、可靠和高效的生产系统。该反应堆的设计是为了满足先进材料工业的需求,重点是生产率、准确性和可重复性。
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