二手 VEECO / EMCORE K465i #293585758 待售

VEECO/EMCORE K465i反应堆是一种最先进的材料电子生产工具，设计用于半导体和其他行业的设备的批量生产。反应堆利用高压等离子体，使离子植入装置的生产成为可能。该工具具有主动区域控制（AAC），允许操作员控制植入参数。该设计还提供了出色的重复性和均匀性的填充。VEECO K465i反应堆设计为在（+）75和（-）75 kV之间的高电压下运行。这允许高离子加速度，它为各种材料和温度提供了广泛的离子注入。该设计还包括对晶片进行多轴扫描，从而能够产生各种各样的有源区域形状。此外，该工具采用了XP-27沉积系统和DC-450疏散室，在高真空条件下提供了良好的晶圆清洁度。EMCORE K465i反应器还配备了增强光子源（EPS），用于紫外线照明。这种来源使得硅、GaAs和GaN等材料能够进行广泛的环境结晶过程。该工具还提供高达8,000个离子/cm2的高峰值离子通量,即使在最小的亚微米特征尺寸下也能实现高通量。K465i反应器还提供自动晶圆跟踪，以促进工具操作的高度精确度。它包括广泛的晶圆映射功能，可以识别晶圆的精确空间位置，并自动为每次曝光选择最佳参数。这样可以减少预先校准所需的时间,并确保最大产量。VEECO/EMCORE K465i反应堆还具有先进的嵌入式用户界面，可简化设置和操作过程，并提供有关工艺参数、设备诊断和其他关键性能指标的可靠信息。该工具还带有一个软维护系统，使操作员可以实时查看操作情况，从而使支持更加容易。总体而言，VEECO K465i反应堆是一种优秀可靠的生产工具，非常适合大容量晶片的工业生产。其广泛的特点使其成为大批量生产和可重复质量结果的理想选择。