二手 VEECO / EMCORE K465i #293587159 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种用于制造半导体材料和器件的反应堆。它是一种化学气相沉积（CVD）设备，为各种应用提供高质量和可靠的结果。它将一个工艺室、两区石英升华源、双质量和两种VEECO火炬模式整合为一个系统。该工艺室尺寸为2英尺，是VEECO K465i装置的主要压力容器。腔室配备了真空机、过程压力感应、控制能力。石英升华源由源和排气系统组成，位于腔室内部和底部。两区石英结晶源使放置在室内的材料汽化，并在材料加热时产生均匀的温度分布。这提供了整个基板区域的均匀温度，从而提高了膜的均匀性。EMCORE K465i的双质量工具允许在一个区域进行高温反应，在另一个区域进行低温反应。EMCORE火炬模式利用磁场在保持稳定压力和温度的同时，产生均匀的前体气体流动。这样可以确保获得准确的结果。K465i反应器还具有监测各种底物温度、压力和气相色谱读数的能力。此外，该资产还配备了可自动调节最佳工艺参数的受控压力范围。该模型还包括高级数据归档、图形和映像功能,允许用户一目了然地监视流程性能。总之，VEECO/EMCORE K465i是一种高效的反应堆，为各种制造应用提供可靠的结果。它具有工艺室、两区石英升华源、双质量设备和VEECO/EMCORE火炬模式。它的监控功能和高级数据管理功能为用户提供了确保流程结果一致和准确的能力。