二手 VEECO / EMCORE K465i #293608318 待售

VEECO/EMCORE K465i反应堆是一种多涂层、高功率的光学外延生长设备，设计用于生产光电材料。该系统是半导体技术行业两个全球知名创新者成功合作的结果。VEECO K465i具有加热的陶瓷敏感器,可在1625°C的温度下运行,并具有大型不锈钢反应室,非常适合各种生产工艺。该装置能够处理多种底物，如GaAs、InP和AlGaAs，并为MBE和MOCVD工艺提供一个通用、均匀的沉积环境。它还具有许多专门的功能，旨在促进快速和精确的外延增长，包括内部气流控制、晶圆位置传感器、机器上自动清洗和热墙结构。EMCORE K465i由高级运动机器支持,该机器包括一个独特的双级升降机,它允许磁感器进行2轴或3轴移动,并使用步进电机进行原位阵列。此外，离子植入可以通过一个集成的离子源单元来实现，该单元提供了一个均匀的深度剖面，并且不需要单独的植入器。K465i还配备了一个强大的控制软件套件，使用户能够方便地编程和控制反应堆的室内条件、过程和配方。软件还包括一套先进的信号分析工具，允许对反应堆腔室和晶圆条件进行实时监测。总体而言，VEECO/EMCORE K465i反应堆为那些寻求高性能、适于市场使用的光学器件的人提供了可靠、经济高效的解决方桉。该工具具有定制沉积参数的多种选择以及强大的安全性和可靠性，非常适合生产各种光电材料和组件。