二手 VEECO / EMCORE K465i #9043781 待售
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ID: 9043781
MOCVD-GaN system, 6"
K465i GaN MOCVD Reactor
K465i Heater Assembly
Wafer Handling Assembly
Laminar Flow Hood
Ebara ESA-25D Pumps
User Interface Swing Arm
Rotary Transfer Assembly
Electronics Control Module
Circuit Breaker Panel 380 VAC
Supply Gas Sub-Assembly
GaN Standard 2xN2, 1xH2 regulator, 2 N2/H2 outputs
All bubblers as quoted
All Slices as quoted
Liquid Refigerator Baths
In-Situ Monitoring System
DRT 210 Real time In-Siture monitor systems
Integrated Electronics Assembly
Model Based Temperature Control
Flow Flange Lift Kit
SECS/GEM
Spare Wafer Carriers 5x6 Qty. 2
MV Particle Filter Maintenance Kit
Filament Maintenance Kit Gen IV Out
Filter Cart Assembly MV KF40
Pyro Kit
Systems utilize shared scrubber, scrubber not included
CE Mark
Tool is currently powered down and main lines are disconnected
2012 vintage.
VEECO/EMCORE K465i是一种高性能、分子束外延（MBE）的工具，设计用于复合半导体的研究、开发和生产。该反应堆为高速光电IC、数据通信设备、传感器和LED设备等应用提供了广泛的增长能力，包括AlGaAs、InGaAs和InP。VEECO K465i是VEECO在其MBE反应堆系列中最新推出的产品，对于那些寻找先进、高精度MBE工具的人来说是绝佳的选择。EMCORE K465i配备了高容量、多区域的大气控制设备，可以精确修改温度和气体成分，沿整个晶圆提供均匀的环境。该系统为升华和后续生长过程中的底物提供了最佳环境，也有助于最小化缺陷的形成。K465i还具有用于精确基板运动的4点采样阶段。此外，还可以选择源系统，包括Knudsen细胞、电子束和积液细胞。VEECO/EMCORE K465i提供5 mTorr的基本压力，而系统可以安装涡轮分子泵，以达到更低的压力，如1 mTorr和0.1 mTorr。这种低基压有助于在生长过程中减少污染的可能性。VEECO K465i还包括真空样品和快门控制，以提高工艺的可重复性。该单元配有专用软件，便于直观控制，软件提供了操作MBE机的图形用户界面。EMCORE K465i提供了一种高级、高度模块化的工具,使其非常适合需要准确控制增长规则的应用程序。这座反应堆还可以配备各种应用的全方位配件。这包括用于超清洁生长的低温淋浴系统、沉积监测系统和用于高度可重复状态维护的负载锁。K465i是一个高度通用的MBE工具，非常适合生产和研究。
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