二手 VEECO / EMCORE K465i #9045105 待售

VEECO/EMCORE K465i体现了高效等离子体加工设备的现代进步。这座先进的工业反应堆结合了VEECO和EMCORE这两个市场领先者的卓越性能和特点，创建了一个全面和完全集成的设备，以显着提高各种电子和材料应用的工艺吞吐量。VEECO K465i的设计目的是提供强大和可靠的处理能力,它能够以高吞吐量速率运行详尽的蚀刻（无介电、钝化金属）和沉积（CVD）工艺。其强大的开放式设计为任何自定义流程开发和控制提供了最大的灵活性,确保了陡峭的学习曲线,并最大限度地缩短了上市时间。EMCORE K465i具有革命性的专利设计,具有两个独特的处理室。这些腔室装有多个电磁源线圈，可提供高达512安培的功率和提供高达500W功率的射频波导。这种强大的电源配置提供了多用途的加工灵活性，使这种反应堆能够以远远超出常规管式反应堆的速率，以极好的均匀性处理高达300 mm的底物尺寸。热电冷却室可防止底物晶片在蚀刻过程中发生不良反应，从而提高底物的产率和通量。此外，闭环过程控制系统提供全面的实时过程控制和监控，确保了最终产品的全面定制。此闭环监视单元可防止由于人为错误或意外的材料特性而导致的意外过程漂移。K465i还具有高级诊断和机器保护功能。先进的诊断传感技术使用户能够在规范范围内看到流程实际在做什么。这在减少停机时间和支持生产成本控制和产量优化方面特别有用。此外,该工具的创新安全系统确保安全可靠的操作,即使在高功率密度下运行也是如此。VEECO/EMCORE K465i是先进反应堆技术的一个很好的例子，因为它为广泛的工业加工应用提供了最终的成本效益。紧凑的占地面积、高度的灵活性和资产安全性使其成为等离子处理需求的首选之一。