二手 VEECO / EMCORE K465i #9172349 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于执行各种薄膜工艺。这种特殊类型的反应堆基于冷壁设计，主要用于光电子学/光子学相关行业。VEECO K465i设计具有广泛的功能，可以将有机和无机材料沉积在各种基板上，如CMOS、玻璃、SiC和GaAs。反应堆支撑的基板尺寸可达8英寸。它由各种部件组成，包括一个主体、一个工艺室、一个敏感器、一个气体输送系统以及一大堆电源和控制器。EMCORE K465i的铝体提供机械支撑，而工艺室则用于容纳和疏散反应物和反应产物。为了在沉积过程中牢固地固定和加热花药底物，在反应室顶部附有一个可调敏感器。气体输送系统由质量流量控制器（MFC）和流量计组成，为前体和其他反应物气体提供精确的计量和控制。一组电源控制流经反应堆加热元件的电流，而控制器负责提供所需的温度。最后，K465i室还配备了许多监测系统，如四极质谱仪（QMS），以确定腔室气体的成分，以及用于监测薄膜厚度的反射仪。总体而言，VEECO/EMCORE K465i反应堆为光电子/光子学工业提供了一种负担得起的可靠的CVD沉积工艺。VEECO K465i具有广泛的功能和可调节的元件，适用于各种复杂的薄膜工艺。