二手 VEECO / EMCORE K465i #9214755 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种用于薄膜沉积过程的坚固、可靠且用途广泛的热壁、低发射率电子束气相沉积（EBPVD）反应器。VEECO K465i配备了用于调节和控制压力、温度和加工气体的集成分级设备。这使用户能够在各种材料上以精确和可重复的方式存放非常薄的薄膜。EMCORE K465i系统利用强大的电子束源,可以达到高达5nm/s的高沉积速率。原位光学诊断单元有助于提高薄膜生长过程的可重复性和重复性。机器还提供了高度的过程均匀性，在基板上的任何一点薄膜生长和过程定制任何特定的应用。K465i的热墙设计使其非常可靠耐用。热墙设计也有助于保持室内温度稳定，提高薄膜生长的均匀性，让你从运行到运行一致的结果。VEECO/EMCORE K465i在其腔室结构中还采用了坚固耐火材料的新型组合，有助于减少材料在基板上的任何重新沉积，并提供高水平的耐热性和稳定性。VEECO K465i反应堆设计有真空密封室和各种端口，用于安装过程控制传感器和其他外部控制装置。该工具还具有原位过程诊断功能,可提供实时的胶片表征。这有助于在整个过程中保持一致的薄膜,并提供快速反馈,使工程师能够根据不同的处理需求调整参数。除了优异的性能外,EMCORE K465i维护效率低,使用方便.它没有活动部件，数字温度控制技术使操作和设置变得简单。直观的图形用户界面（GUI）控制着完整的沉积过程，从基板制备到沉积后冷却和基板去除。总体而言,K465i是实验室或工业应用中薄膜生长操作的理想选择,因为它具有鲁棒性、可靠性和多功能性。