二手 VEECO / EMCORE K465i #9227000 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种高性能蚀刻反应堆，设计用于各种领域。它是利用气体化学和密集电子轰击相结合的低压等离子体装置。这种反应器是一种中空阴极操作的装置，具有可重复、均匀的蚀刻轮廓，性能卓越。VEECO K465i是一种多晶片蚀刻反应堆装置，能够同时处理多达四个3英寸晶片。它有一个负载锁定模块和一个用于晶片装卸的盒式磁带托盘，带有一个自动驱动器和一个接口端点检测器。反应堆装有场发射电子枪构造，可在晶圆级提供静电屏蔽。气流的控制和蚀刻的均匀性可以由用户设定和调整。它还能够进行批量深反应离子蚀刻（DRIE）。此DRIE创建一个负倾斜的侧壁角度,在一定压力和功率条件范围内,纵横比的蚀刻速率均匀。EMCORE K465i利用先进的多气体控制系统来减少过程鉴定所需的时间并降低维护成本。除了多气体控制，可以储存多种配方，用于不同的应用。它还具有无化学区的特点，并采用直排快门法控制来自排气的背压。这种多功能设备具有主动排放监测功能,可确保系统的安全和高效。其低压平台利用蚀刻屏障和全基板高度控制，创造出均匀的蚀刻和最小的超时和停机时间。K465i是寻求可靠、经济实惠的蚀刻解决方桉的用户的理想选择。它兼具高性能和易用性,是各种应用程序的理想选择。