二手 VEECO / EMCORE K465i #9227304 待售

VEECO/EMCORE K465i反应器是一种高温等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备。该系统旨在以快速和可重复的方式提供均匀和高密度的电介质膜沉积。它特别适用于MEMS制造、薄膜太阳能电池制造、纳米晶体合成等应用。VEECO K465i采用双RF发生器技术，允许使用低基板偏置电压的高温直接加热基板。这就造成了低碟形、高均匀性、高质量的薄膜沉积。标准腔室配置最多可容纳四个6英寸和八个3英寸的敏感器晶片。这种高容量使得各种应用能够对不同类型的薄膜进行高通量的工艺优化和优化。PECVD过程通过精确控制等离子体化学、腔室压力、底物温度、射频功率等参数来调节。它具有+/−0.3°C的温度测量能力，可以在每个晶片上均匀重复薄膜沉积。此外,EMCORE K465i还提供了一个集成的过程控制单元,可准确监控性能并优化过程。基于热电偶的端点电路现场监测沉积速率，用于精确控制端点光学器件。这使得对薄膜组成和晶体结构的控制得到改善，从而提高了所得材料的性能特性。K465i还提供一系列标准和定制的负载锁以及所有其他相关组件,以确保最高的生产率和过程稳定性。它旨在满足用于半导体和MEMS设备制造过程的PECVD系统的严格性能标准。它是一种可靠、坚固的机器，可用于洁净室和工业研发（R&D）设置。总之，VEECO/EMCORE K465i反应器是一种先进的PECVD工具，能够实现介电、含硅和其他纳米结构膜的高质量、均匀沉积。它允许对诸如温度、射频功率、腔室压力和等离子体化学等工艺参数进行可靠和可重复的控制。通过其集成的过程控制资产和基于热电偶的端点光学，该模型提供了最大的生产力和可靠的性能。