二手 VEECO / EMCORE K465i #9229288 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种金属有机化学气相沉积反应器（MOCVD），设计用于液相外延（LPE）和氧化物/氮化物基沉积。VEECO K465i是一种高通量工具，非常适合LED、集成光学、薄膜晶体管（TFT）等工业多层应用。本文介绍了一种具有独立控制气体前体和动态反应区的量身定制的气体分配设备，以实现薄膜沉积的最大均匀性，以及用于优化吞吐量和产率的自动化过程控制软件。EMCORE K465i是一个分管垂直MOCVD反应堆，有一个四英寸乘两英寸的反应堆管。利用水平和垂直气流在整个晶圆中均匀生长。基板加热可以达到700 °C，温度可以通过直接加热系统和装有温度传感器来保持均匀性。其三级涡轮泵能够为活性物质冷凝和高效的反应性气体输送提供高水平的真空。K465i进一步补充了高精度自动晶片传输装置、控制反应堆压力和流量的自动压力平衡机、定制的提升机构以及用于精确沉积控制的自动气体测序。它配备了高吞吐量和高质量的硬件组件，如棱镜晶体、原位监控、自动阴影掩蔽和光谱工具。VEECO/EMCORE K465i还包括一个排气洗涤器，以减少环境中的气体污染物。VEECO K465i的设计旨在提供一个可靠、可重复和可靠的工具,以准确高效地产生大量的同质层。其先进的功能使其成为寻求经济高效且用途广泛的MOCVD资产的客户的理想选择。