二手 VEECO / EMCORE K465i #9233939 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种离子植入工具，设计用于半导体工业。它是一种用途广泛的高通量反应器，利用各种元素的离子来修改底物的物理和电性能。反应堆的能量范围从0.5到750 KeV不等，植入率高达1.25e12 at/cm2/min。这样可以精确控制植入物在基质中的剂量和深度，以及植入元素的类型。反应器由真空室、离子源、百叶窗和探测器系统组成。真空室包含1x10-8 Torr的真空，允许离子注入基质。离子源包含各种能量下的Ar、Cs、Xe、N等元素，使离子得以正确植入。百叶窗控制离子束，确保精确扫描和准确植入。探测器系统监视绘图模式，以实现精确扫描，并能够准确测量要植入的区域。VEECO K465i是一种模拟模煳逻辑型计算机控制器，有助于保持该工具的正常运行。控制器还用于微调光束功率和电流轮廓，以达到所需剂量。控制器还监视整个系统并自动调整离子加速度。该工具具有多通道晶圆映射器，允许各种异步植入和顺序植入选项。它配备了高分辨率的离子光学系统，允许实施高级扫描策略，如细线扫描、2D-overlays和偏移植入。该系统还可以在整个晶片上实现均匀植入。该工具专为快速周转和易于维护而设计。安全功能如可关闭的舱盖、紧急按钮和带式传送带锁都包括在内，以便安全操作。该工具的构建考虑到维护,易于访问多个组件和轻松交换部件。该工具还具有植入物的在线维护和文档记录功能,以确保正常运行。EMCORE K465i是一种先进的高通量反应器，适用于半导体生产。K465i具有可调光束能量、高分辨率离子光学器件和多功能映射器，能够精确控制植入剂量和植入深度，适用于不同的应用。该工具还具有易于维护和安全的功能,以实现可靠的操作。