二手 VEECO / EMCORE K465i #9241368 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种先进的电感耦合等离子体分析工具，用于研究和分析半导体材料的性能。该实验室级反应堆设计用于研究应用，可用于测量、分析和试验各种半导体材料。VEECO K465i是一种高峰值功率、高压感应耦合等离子体基反应器，优化用于深蚀刻、蚀刻、沉积和退火实验的电极级处理。它利用独特的圆形导电天线几何形状，提高等离子体耦合效率和功率传递到腔室的基板。EMCORE K465i具有创新的双压力结构和两个独立维持的压力区域,具有优异的工艺重复性和强大的设备性能。它能够产生高能密度等离子体，用于高密度源优化和临界维度习惯控制应用。这些等离子体可以用实时激光烧蚀干涉光谱仪连续监测，以精确控制等离子体化学和组成。此外，K465i是为高通量生产而设计的，它包含一个大面积的平行板电极，用于高效的材料工艺分布和均匀性。VEECO/EMCORE K465i包含一系列强大的功能和功能,以满足严格的研究需求。这些特点包括用于精确和可重复过程控制的可调压力加湿和疏散系统，用于高级精确过程定时的线性LFM（线性频率调制）发生器，以及一整套计量能力。该反应器包含一个温度平衡的腔室，以确保基板和工艺温度一致，从而获得最佳性能。最后,VEECO K465i包括一个完整的自动化系统,用于快速高效的实验设置和控制.它配备了一个计算机控制的机器人样品处理单元，可以同时处理直径1.27厘米的圆形晶片和最大x厘米的大型设备²基板。此外,专有的基于Windows的自动化机器可以方便地进行数据采集和控制,而集成的光学工具可提供详细的成像和分析以进行实验表征。总体而言,EMCORE K465i是一种功能强大、基于等离子体的高级分析工具,具有多种功能和特点。它是研究人员和技术人员需要先进和可重复的半导体器件研究和分析过程的理想工具。