二手 VEECO / EMCORE K465i #9273446 待售
网址复制成功！
单击可缩放
VEECO/EMCORE K465i是一种高度先进的电子束反应器，设计用于制造半导体、光学和其他先进的微加工应用的高精度加工。它具有多种强大的增强功能,包括4轴运动控制设备,允许控制和精确对齐扫描模式。由此产生的高速沉积和蚀刻工艺可以提供非常准确和可靠的制造结果。在其核心，VEECO K465i利用先进的电子束技术，产生高能电子束的强烈、高度聚焦。该束随后通过一系列漂移管加速，在那里被迫与气态源物质相互作用。然后由电子束激发和加速原料，产生反应产物，随后沉积在基材上。这个过程使得沉积控制非常精细，最终导致更高的产量，更好的均匀性，和更低的缺陷率。EMCORE K465i可以在高达500 mA的高电流范围内操作，最小光束直径为1 μ m，每小时最多可达到10晶圆的吞吐量。先进的4轴运动系统能够容纳直径不超过6英寸的晶片,厚度不超过0.015毫米,最小光束对准公差为0.5 μ m。该单元还可以配置为启用等离子体增强或聚合物涂层工艺。在安全方面，K465i反应堆采用多种措施保护人员免受辐射。其中包括先进的安全联锁机、停电工具以及用于监控水温和压力的自动化资产。综上所述，VEECO/EMCORE K465i是一种可靠、精确的电子束反应器，设计用于各种先进制造应用的高精度加工。其强大的4轴运动模型、高通量和500 mA的最大电流使其成为生产精密设备的理想工具。此外，其先进的安全措施和自动化的监测设备确保了可靠和安全的运作。
还没有评论