二手 VEECO / EMCORE K465i #9274047 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种用于制造薄膜半导体的反应器。它由VEECO Instruments和EMCORE Corporation开发，作为微电子和光电子制造的下一代工具。VEECO K465i是一种单室溷合版本反应器，利用感应耦合等离子体（ICP）和射频（RF）功率将薄膜沉积在各种基板上。它是一种用途非常广泛的工具，能够沉积各种各样的材料类型，从硅基化合物到奇特的金属绝缘体化合物。EMCORE K465i是一个全自动系统,可轻松编程,以适应不同组合的基材尺寸、工艺温度、压力条件、气体溷合物以及射频和ICP功率。该系统还允许对压力、温度、射频、ICP功率、气流等工艺参数进行现场监控。K465i反应堆结合了许多不同的组件，包括一个工艺室和一个气体箱。该工艺室包含一个磁感器，用于在沉积过程中支撑基板，以及一个射频线圈和工艺气体。燃气箱包含一个供气单元以及各种阀门和阀门控制器。VEECO/EMCORE K465i的模块化配置允许它量身定制各种生产工艺，从光电器件等高价值、低批量的产品到大批量、低成本的电子产品。VEECO K465i的其他好处包括其广泛的工艺集成选项、快速轻松的工具转换、提高工艺控制和稳定性以及提高产量。总体而言，EMCORE K465i是薄膜半导体生产的创新和强大工具。它坚固可靠,易于使用,其多用途的配置和先进的过程控制功能使其成为满足各种生产需求的绝佳选择。