二手 VEECO / EMCORE K465i #9276024 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种低功率电子束（e-beam）沉积反应器，用于材料在半导体和微电子器件制造中的薄膜沉积。利用闭环磁控管溅射工艺，VEECO K465i反应堆是研究和开发以及商业沉积工艺的理想选择。反应堆的国松型电子枪，允许的离子化氙气产生等离子体，以及所需膜材料的低压溅射沉积。这款电子枪配备了自动孔径对准，产生了最佳沉积参数和平稳运行。反应堆由一个腔室、一个基板加热床、一个电子枪、一个基板卡盘和一组四极磁体组成。EMCORE K465i反应器的真空室由不锈钢或铝构成，并与真空泵和涡轮泵耦合，达到1 µtorr或更小的底压。反应堆内部有电子束设备，包括电子枪组件、集电极和磁透镜。该系统用于产生一个快速移动的细束电子束，像缓慢移动的扫描仪一样扫描样品。基板加热床由带热电偶温度传感器的电阻加热器组成。这允许最大基板温度为400摄氏度，可通过温度控制单元进行调节。K465i反应器还具有相对于电子枪上下移动的平坦基片卡盘，为样品表面提供均匀和可重复的加热。反应堆的四个四极磁体用于引导电子，形成稳定、聚焦的光束。这有助于提高沉积过程的均匀性和准确性。通过控制磁控管溅射的功率，可以改变沉积速率。电子束机的硬件包括多种安全特性，如过温防护、总功率监控、电压电流稳定等。VEECO/EMCORE K465i电子束反应器具有多种特性和功能，是薄膜沉积工艺的理想工具。VEECO K465i反应器具有优化的电子束扫描和优异的均匀性，是半导体和微电子制造的宝贵资产，可用于研究、开发和商业沉积。