二手 VEECO / EMCORE K465i #9315632 待售

VEECO / EMCORE K465i
製造商
VEECO / EMCORE
模型
K465i
ID: 9315632
MOCVD System.
VEECO/EMCORE K465i是一个先进的工艺反应器,设计用于沉积薄膜,用于开发太阳能电池、其他光伏设备、平板显示器和MEMS。这座反应堆配有集成的垂直磁控管和微波源,并基于Prodigi™过程的设计。VEECO K465i具有较高的沉积均匀性、较高的沉积吞吐量和较低的缺陷水平.EMCORE K465i的微波源可实现不受环境影响的高功率等离子体羽流的瞬时生成,并提供最佳的沉积速率、组成和层均匀性。K465i的开阴极设计是薄膜太阳能电池优化的理想选择。它包括一个垂直磁控管和一个专门设计的用于沉积的微波源。这允许在工业中已知的最密集的等离子体下以快速的沉积速率运行。VEECO/EMCORE K465i设计用于低温薄膜的清洁、重复处理和精确沉积。该系统包括先进的等离子体源和先进的控制电子设备.先进的光源能够产生高功率等离子体,提高薄膜沉积精度。控制电子设备提供精确的脉冲宽度、功率和等离子体气体控制。VEECO K465i还配备了全面的图形用户界面(GUI)。该GUI旨在提供沉积参数的清晰详细的概述以及沉积过程等离子体照片的近乎实时的显示。EMCORE K465i的设计考虑到了紧凑、便携式和节省空间的便利性。该系统可在多种环境下操作,包括实验室、工业和半导体生产。此外,K465i还配备了低流量条件自动关闭功能、应急惰性气体填充器、CO2灭火器、模块化设计的安全壳区域等多项安全功能。VEECO/EMCORE的多功能性、可靠性和耐用性K465i使其成为太阳能电池、平板显示器和MEMS开发中薄膜沉积的理想选择。优越的沉积均匀性和高吞吐量率提高了用户的生产率和吞吐量。开放式阴极设计、先进的控制系统、全面的图形用户界面和安全系统相结合,使其成为寻求卓越产品的客户的综合沉积平台。
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