二手 VEECO / EMCORE K465i #9352112 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种电感耦合等离子体（ICP）反应器，设计用于复合半导体和光电材料的集成技术开发和生产。这项尖端技术利用射频功率和流体功率的精密组合，产生高温等离子体和反应性气体。它具有非常低的声响水平和较小的占地面积，使其适合用于研究实验室、大学和工业制造。VEECO K465i具有两个射频源，在13.56 MHz时功率输出范围为75-600瓦，在27.12 MHz时功率输出范围为1-125瓦。它还具有可调功率斜坡速率，用户可以精确控制气体和离子密度。该装置采用特殊的屏蔽设计来减少磁性和磁性静电干扰，使其在生产过程中的应用具有一致性和可靠性。EMCORE K465i设计最多可使用13种气体、2种液体和1种固体成分。它具有过程控制功能,包括压力、温度和离子能量,使其能够在广泛的过程条件下运行,从而为用户提供灵活性和控制力。通过添加第二个射频源,可以方便地修改此单元以进行沉积和蚀刻过程。K465i是一种高级系统,运行成本低,同类系统的吞吐量是同类系统的三倍。完全集成的设计确保维护任务保持在最低限度,并且设备附带高级热管理控制算法。这样可以防止热量的分配和由于热梯度而造成的工艺气体的损失。总体而言，VEECO/EMCORE K465i为光电材料加工提供了先进的晶圆技术。它具有高功率多功能性、优化的加载和卸载时间以及非常小的占用空间。它是一种可靠的高性能仪器，非常适合研究和生产应用。