二手 VEECO / EMCORE K465i #9363426 待售

VEECO/EMCORE K465i是一种射频（RF）反应性离子蚀刻反应器设备，设计用于先进电子器件的精密微制造。该系统采用射频电源、高密度等离子体源、一系列蚀刻气体以及计算机控制的精密硬件和软件的组合，在玻璃、硅、蓝宝石等多种材料上提供高精度、高分辨率的蚀刻性能。VEECO K465i基于溷合、磁增强的微波等离子体工艺,可提供高质量的蚀刻,并具有低PMMA侵蚀和最小化的微载荷。它配备了先进的等离子体源，采用了受控极性转换机制，在等离子体源和底物室创造了一个健壮的、高密度的等离子体。该源经过精心设计，可提供高均匀性和高化学选择性，从而实现最佳蚀刻轮廓。EMCORE K465i具有很高的可重复性,这意味着可以在同一工件上运行多个蚀刻过程以获得统一的结果。它还具有在整个蚀刻区域内蚀刻变化不大的大面积的能力。该装置的环境控制允许精确的压力和温度水平，而一个健壮的气体管理机器支持自动气体溷合，以实现最好的蚀刻化学。K465i配备了先进的计算机控制硬件和软件工具，可提供可重复、高精度的蚀刻结果。资产还配备了一系列射频电源，使用户能够用不同的蚀刻气体蚀刻，并设定特定的蚀刻参数。该模型还提供了广泛的基材材料，从标准金属到异国情调的材料，因此几乎可以解决任何应用问题。VEECO/EMCORE K465i RF反应性离子蚀刻反应器设备的设计考虑到了灵活性和精确度。其先进的硬件和软件系统旨在使用户在各种材料上实现高精度、高分辨率的蚀刻结果。其强大的气体管理系统和环境控制确保了最佳蚀刻化学。该装置的射频电源范围，加上它能够蚀刻大面积和低变化的蚀刻区域，确保本机是理想的任何微制造应用。