二手 VEECO / EMCORE K465i #9364537 待售

VEECO/Ecore VEECO/EMCORE K465i是一种高性能射频（RF）等离子体反应性离子蚀刻（RIE）反应器。该设备非常适合广泛的应用，如蚀刻高长宽比结构、图案化聚合物、蚀刻蓝宝石和金属精密蚀刻。VEECO K465i技术旨在确保精密和质量控制的完美蚀刻效果。它基于最新的基于等离子体的RIE技术，利用无线电频率激发等离子体。等离子体的高级射频形成确保了精确、可重复的蚀刻结果。集成的等离子体轮廓控制技术提供了对过程的精确控制。EMCORE K465i配备了专有的EMCORE/Ecore技术,可实现最大的蚀刻均匀性和高纵横比结构。这是由于其独特的电极设计，其特点是电极腔与一个角度的插槽。这提供了更大的蚀刻面积。它还附带了该公司的专利原子传输机制，高效，可重复蚀刻。K465i设计用于在各种频率和压力下运行。这个范围允许系统处理广泛的材料，如金属、陶瓷和聚合物。该单元还配备了先进的音频电压表（VFM）和压力控制器，以确保适当的控制和监控。VEECO/EMCORE K465i的自动负载锁定机提供快速、可重复的处理,无需任何夹具或步骤。该工具具有快速蚀刻的高涌入电流能力。可以将资产编程为可使用各种晶圆大小和形状。VEECO/EMCORE/Ecore VEECO K465i是一种可靠的蚀刻反应器，带有最新的蚀刻技术。它设计用于精密加工的高速蚀刻工艺。它配备了高纵横比结构的斜槽、先进的音频电压表（VFM）和自动负载锁定系统等功能。这使得它非常适合广泛的应用在蚀刻，图案，和精密蚀刻。