二手 VEECO / EMCORE K465i #9402610 待售

VEECO/EMCORE K465i双棒反应器是一种最先进的化学气相沉积（CVD）系统。该系统有两个区域：基板区域和源区域。基板区包含负载锁，可同时处理两种基板，最多可容纳六种尺寸达200毫米的基板。源区包含载气供应，并将反应物气体引入底物，使材料分解形成所需的膜或层。这种反应器可以处理具有多种沉积参数的材料，从低沉积速率到高沉积速率的过程。由于其在基板上的360度加热，它提供了特殊的沉积均匀性和灵活性。基板由预设或可编程位置绘图仪独立于源进行管理。这允许高精度阵列。VEECO K465i利用水平和垂直加热线实现良好的均匀性和温度控制。该系统允许高级流程控制,如气流、压力、射频和偏置功率控制,以及高级安全功能。EMCORE K465i还具有获得专利的石英晶体微量平衡（QCM）,可提供精确的原位化学成分分析。K465i设计用于加工多种先进材料，包括高温材料和氧化物，如掺铝氧化锌（AZO）、非晶硅（a-Si）和硒化镉（CdSe）。它设计用于薄膜晶体管、太阳能电池和光电探测器的开发和生产。VEECO/EMCORE K465i是一个下一代反应堆，它以紧凑可靠的包装提供前所未有的性能、灵活性和控制水平。它可靠且易于使用,具有直观的触摸面板控件和方便用户的软件,可实现简单的设置和操作。它还包括改进过程监测和定制工具控制的一整套实验室工具。