二手 VEECO / EMCORE K465i #9411980 待售

VEECO/EMCORE K465i反应堆是材料科学、纳米技术和其他一系列领域的许多研究和制造过程的强大而高效的工具。它是一个最先进的等离子体蚀刻系统，旨在对诸如蚀刻速率、各向异性、选择性和端点控制等参数提供精确和可重复的控制。VEECO K465i是一种紧凑的垂直式反应堆，非常适合许多商业和实验室应用，因为它提供了一种灵活的配置，最多可容纳三个过程模块和源模块，一个负载锁，以及整体涡轮泵送和真空监测能力。EMCORE K465i是一种反应性离子蚀刻（RIE）系统，一级反应如Ar等离子体、SF6等离子体、氧等离子体等可以部署到各种材料上蚀刻。该装置提供了良好的工艺控制、配方设计、原料选择和主泵启动。图形用户界面、面板视图显示和可编程逻辑控制器为蚀刻的化学控制方面提供了全面的控制界面。K465i的组件包括静电卡盘、防护罩和集成离子束源。内部组件的设计支持<20KV的蚀刻过程,最大蚀刻速率高达32nm/min,并且具有允许高分辨率蚀刻的功能。静电卡盘和防护罩有助于确保过程的重复性和精确度，减少元件的加载时间和移动。VEECO/EMCORE K465i提供广泛的材料沉积服务，包括化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）和蒸发。这些服务可用于沉积广泛的材料，包括金属、合金、电介质和半导体。这些工艺还提供了对蚀刻各向异性、特征控制和精度的出色控制。除蚀刻和沉积功能外，VEECO K465i还提供了一些优化工艺的选项，包括负载锁、专用离子源和光电离功能。负载锁定允许可重复和受控的样品加载，而专用离子源提供更高的蚀刻速率和改进的重复性。光电离功能旨在提高工艺分辨率并提高样品兼容性。总体而言,EMCORE K465i是广泛研究、制造和工业应用的绝佳选择。它灵活的配置和广泛的功能使其成为一台高度通用的机器,并有可能改变材料的设计和使用方式。结合其出色的功能、控制功能和可重复性,K465i是任何希望提高流程效率和准确性的人的强大工具。