二手 VEECO / EMCORE K475 #9315631 待售

VEECO/EMCORE K475是专门为生产半导体和光电元件而设计的电子束（电子束）离子注入反应器。它能够对各种离子束能量和强度分别为10 keV至40 keV和1 mA至4 mA的底物进行高精度和大面积掺杂。VEECO K475设计有一个分离式真空室，其中顶室包含离子源、加速结构和喷射器枪；下室设有梁线、样品装载站和目标站台。它还包括一个预先电离的90°弯曲到光束线，这允许操作员精确调整光束的电流和电压。EMCORE K475设计为在目标基板上提供最大光束均匀性，从而确保均匀植入。它配有可调准直仪，将光束精确聚焦在基板上。此外,自校准监视器系统控制光束电流、光束强度和光束均匀性,以确保最佳、可重复和一致的植入。为了防止不需要的离子沉积和减少污染，K475具有污染控制能力。它有一个离子快门和密封的腔盖，使操作员能够控制腔室的内部压力。此外，还提供了一个可选的离子吸收泵，用于对腔室进行额外的工后清洗。VEECO/EMCORE K475是生产高需求半导体和光电元件的灵活工具。它速度快、效率高、精度高，能够生产分辨率高达1 μ米的高精度植入物。其稳健的设计、精密的控制和极高的精确度，使其适合于半导体、光电、航空航天和军事应用的工业和科学应用。