二手 VEECO / EMCORE TurboDisc E450 LDM #9119474 待售

VEECO TurboDisc E450低密度金属（LDM）反应堆是一种商业工具，用于物理汽化金属，用于半导体器件和结构。这座高性能反应堆在高真空环境下运行，利用微波能量进行加热、气相沉积和氧化。该过程首先将所需金属的"原料"装入反应堆的石英晶片敏感器，然后能够以精确、一致的方式达到很高的温度。E450 LDM反应堆能够在动态操作下达到5nm/s的沉积速率，并利用射频加热或直流电加热来达到这些高温。最重要的是,TurboDisc设计中的恒定沉积参数使用户能够重复相同的沉积过程来创建在均匀性方面相同的结构。E450 LDM反应堆设备中包括的先进原位清洗技术在石英晶片敏感器和系统其他部件的清洁中发挥着不可或缺的作用，以防止任何类型的污染发生。这种原位清洁技术利用氯气和氮气的来源，确保将最优质的材料沉积在所需的层中。E450 LDM反应堆还提供了高效电隔离的便利。这意味着，无论外部环境发生任何变化，反应堆都能以稳定的方式运行，确保始终如一地取得最高质量的结果。此外，E450 LDM反应堆不需要频繁维修和保养，这意味着用户可以长时间运行反应堆，而不会造成机组发生故障的风险。该机还包括一个再循环冷却工具，以保持整个资产在任何时候最佳的工作。EMCORE TurboDisc E450低密度金属（LDM）反应堆是一种易于使用的高性能工具,非常适合需要金属汽化的广泛应用。其先进的原位清洗方法，高沉积速率，电隔离，使其成为寻求一致可靠沉积模型者的理想选择。