二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #293601651 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN Reactor是一种可靠而强大的沉积设备，专门设计用于高性能的氮化氙（GaN）处理。它使任何人都能在每一个过程中获得可重复和一致的结果。该系统采用TurboDisc （TD）技术,该技术结合了水平和垂直磁化器旋转以及获得专利的DualRF™控制,可最大程度地减少刀具和工艺中的总足印。TD技术提供了跨所有工艺热点的均匀性和可重复性,以及高通量冷却,从而优化了工艺时间。该K465i使用四位盒式磁带,在使用石英平顶磁化器时具有最大的灵活性。这座反应堆配备了先进的过程控制和监控能力，包括自动可变基板偏置（AVSB）控制和快速热控制（RTC）。AVSB控制允许将高达350°C的均匀沉积到对温度敏感的基板上,而RTC则允许室内各个部件的温度,同时将其他部件保持在均匀的温度下。该K465i还配备了一个自动工艺室清洗装置，该装置将清洁和浓缩氢气和氮气物质的剂量精确对准腔壁，防止任何物质积聚和不均匀。这台机器可以很容易地配置多种沉积源，如高纯度气体（HPG）、原子束源（ABS）、电子回旋共振（ECR）源，允许最大的灵活性和多用途的沉积剖面。此外，K465i嵌入了20nm的温度控制精度，保证了任何过程室内的高温均匀性。该K465i用于GaN研发和大批量生产。它用户友好、用途广泛、可靠，在各个方面都提供了较短的周期时间和出色的层均匀性。而且，凭借其安全特性，如工艺气体的实时泄漏检测，以及机械部件的安全互锁工具，K465i保证了安全和性能的最高标准。