二手 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375120 待售

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN是一种外延反应堆，设计用于生产各种应用中的特殊材料。它具有高效的ECR辅助微波等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）模块,可精确控制薄膜生长特性。对等离子体进行连续监测，以确保在加工过程中的最佳沉积速率和特性。反应堆配备了一个高频源，允许两个功率级别和多频设置的可选输入，允许一个可调可控的环境。高频源确保了一致和稳定的处理环境，从而在整个晶片上形成了统一的沉积轮廓。VEECO TurboDisc K465i GaN提供了最大的工艺灵活性和改进的加工窗口,允许一次生产复合半导体和介电材料。具有较高的薄膜均匀性和沉积率，以及对晶体结构和薄膜性能的精确控制。反应堆的优越均匀性使得它非常适合生产GaN和SiC材料。反应堆可以配备实时监测设备，以确保准确的实时监测和数据收集，以便在沉积过程中进行更大的过程控制。除了生产特殊材料的高效性能外，EMCORE TurboDisc K465i GaN还配备了多种安全功能，以防止操作过程中意外过热或损坏。它的安全系统包括一个过载保护单元，一个警报来提醒操作员潜在的危险，以及一个独特的温度限制检查机，旨在保护反应堆和防止灾难性的故障。该模块配备了超压工具，可防止在操作过程中积聚气体压力，并有助于确保最佳工艺条件。TurboDisc K465i GaN是生产要求最高性能水平的复合半导体和介电材料的理想外延反应堆。其自动化能力、工艺参数的精确控制以及全面的安全特性，使其成为生产优质材料的可靠高效选择。